表面輪廓儀

服務項目:矽晶片結構, 光阻結構。

廠牌:Sanpany

型號:ET-200

分析原理:

此機台是利用尖頭探針去掃描物體表面,以得到表面輪廓的資訊。在探針掃描的運動軌跡橫過物體表面,並利用一導體感測器記錄了針尖的垂直運動變化。經由針尖運動產生訊號,可以顯示待測物體的二維表面輪廓。

特色:

表面輪廓機是用來量測物體的表面輪廓,藉由表面輪廓可知所製作的樣品之粗糙度,判斷製造成品之精度良莠。

收費標準

服務項目 院內單位 院外單位
醫工奈米所 院內計畫 外接專案計畫 學術單位 產業及其他機構
教育訓練 1,500/小時 1,800/小時 1,800/小時 1,800/小時 3,000/小時
自行操作 300/小時 400/小時 400/小時 400/小時 800/小時
委託操作 1,800/小時 2,000/小時 2,000/小時 2,000/小時 3,000/小時
陪同操作 1,500/小時 1,800/小時 1,800/小時 1,800/小時 3,000/小時
註:
1. 每個操作時段最低收費時數1小時(未達1小時,以1小時計算)。
2. 教育訓練每次需1小時,教育訓練後須經過至少1次陪同上機進行認證,通過後可取得自行操作使用權限。
3. 使用者須遵守無塵室(儀器位於無塵室內)使用管理規定。
4. 委託操作以每小時量測20個數據為上限(未達20個數據,以1小時計算)。
5. 陪同操作若實驗延宕超過預約時間需補足超過之時數(未達1小時,以1小時計算)

儀器操作人

何誠堃;分機37143