掃描式電子顯微鏡

服務項目:分析物體的表面,例如金屬或非金屬的斷裂面、磨損面、塗層結構等的觀察研究。主要包括:材料、半導體、冶金、機械、礦物、地質、 生物、醫學、化學、物理等。

廠牌:HITACHI

型號:TM1000

分析原理:

利用電子槍所發出的電子束透過柵極(Wehnelt cylinder)聚集而形成幾十um大小的點光源,在陽極加速電壓作用下,再經過包含三個電磁透鏡所組成的電子光學系統,使電子束聚焦成一細小約幾個nm的電子束照射試片表面,由於末端透鏡上裝有掃描線圈,其主要是用來偏折電子束,使其在試片上能做二度空間的掃描,並且此掃描器與陰極射線(CRT)上掃描同步,當此電子束打至試片時會激發出二次電子(secondary electron)和反射電子。這些電子被偵測器偵測時,訊號經由放大器送至CRT,由於掃描線圈上的電流與顯像管的電流是同步的,所以,試片表面上任一點產生的訊號和顯像管相互對應,因此,試片表面的形貌、特徵等可藉由同步成像的方式而一一表現出來。

特色:

表面輪廓機是用來量測物體的表面輪廓,藉由表面輪廓可知所製作的樣品之粗糙度,判斷製造成品之精度良莠。

收費標準

服務項目 院內單位 院外單位
院內計畫 外接專案計畫 學術單位 產業及其他機構
分析樣品 600/hr 800/hr 800/hr 1,000/hr
樣品鍍金費用 300/次 500/次 500/次 500/次
臨界點乾燥(CPD)費用 500/次 500/次 500/次 500/次
註1:不提供代工服務
註2:不提供單獨使用鍍金及CPD

儀器操作人

張佳鼎;分機37126