平板式氧電漿機(Oxygen Plasma)

服務項目:玻璃與PDMS氧電漿表面改質

廠牌:MARCH

型號:AP300

分析原理:

電漿作用包含了紫外線,中性粒子,活化粒子,電子及離子的反應。這些具能量的粒子能引發許多特殊的化學與物理的反應,進行清潔及改變材料表面以達到特殊的功能及效果。例如在電漿蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速後轟擊矽晶圓,使其表面原子的鍵結破壞進而能迅速與活化粒子進行化學反應達到蝕刻效果。

收費標準

服務項目 院內單位 院外單位
醫工奈米所 院內計畫 外接專案計畫 學術單位 產業及其他機構
陪同操作 680/半小時 750/半小時 780/半小時 980/半小時 1,350/半小時
自行操作 230/半小時 300/半小時 330/半小時 530/半小時 900/半小時

註:

      1. 每個操作時段最低收費時數1小時
      2. 訓練後須經過至少一次陪同上機進行認證通過方可自行操作
    3. 設備置於無塵室中,需遵守無塵室使用規定。

儀器操作人

吳慧紋及謝菲妮;分機37143