無塵室 Class 1000

服務項目:微結構製造

特色

    本設備環境為1000等級無塵室(Class 1000 Clean Room),並配有光微影技術(photolithography) 微製造所需之相關設備可供使用。

收費標準

服務項目 院內單位 院外單位
醫工奈米所 院內計畫 外接專案計畫 學術單位 產業及其他機構
陪同操作 2,500/小時 3,500/小時 3,500/小時 3,500/小時 6,000/小時
自行操作 400/小時 500/小時 500/小時 600/小時 1,000/小時
4″晶圓 600/片 600/片 600/片 600/片 600/片
光阻液 (含顯影液) 400/次 400/次 400/次 400/次 400/次
教育訓練或使用者認證 6,500/小時 8,000/小時 8,000/小時 8,000/小時 12,000/小時
註:
1. 使用此設備需先至國家衛生研究院_醫工奈米貴重儀器服務系統完成線上預約,繳費完成後,持單據向管理人報到,方可進入使用。
2. 每個操作時段最低收費時數1小時(未達1小時,以1小時計算)。
3. 光阻液塗佈每次以4公克為上限,8公克計算為2次塗佈,12公克計算為3次塗佈以此類推(未達4公克,以4公克計算)。
4. 教育訓練或使用者認證每次需2小時,訓練製作特殊或多層結構者每次需4小時。
5. 經教育訓練並且通過管理人認證後之使用者,可取得自行操作使用權限。
6. 未取得自行使用權限之使用者必須預約由管理人陪同操作。若實驗延宕超過預約時間需補足超過之時數(未達1小時,以1小時計算)。
7. 委託操作請洽管理人評估所需時間及耗材使用量。單層結構最大高度誤差為塗佈高度的25%,特殊需求或製作多層結構需額外增加費用。
8. 預約完成後須依日期與登記時數使用,欲取消當次預約需12小時前通知管理員,更改使用時段。
9. 無塵室之設備(曝光機,塗佈機,表面輪廓儀)使用完畢後須登記使用情況。
10. 未依以上規定使用者,將取消個人使用權限(欲自行操作者需重新認證),未取得使用權限者,將取消其預約資格。

管理者

何誠堃;分機37143