冷場發射掃描式電子顯微鏡

服務項目:生物及非生物樣品表面與立體結構之觀察及成像

廠牌:Hitachi

型號:S-4700 type-I

分析原理:

冷場發射掃瞄式電子顯微鏡(Field Emission-Scanning Electron Microscopy, FE-SEM)是利用入射電子束與試樣產生的二次電子或背向散射電子等來成像之一種高解析度表面形貌檢測儀器,其解析度可高達~2 nm。配合能量光譜分析儀(EDS)即可進行成分分析,材料相結構的探討等。

特色:

加速電壓(Accelerating voltage): 0.5~30 kV
放大範圍 (magnification ): 20~500,000 X
樣品台控制(stage control):

  • X軸(X traverse):0~25mm
  • Y軸(Y traverse):0~25mm
  • Z軸 (Z traverse): 2.5~27.5mm
  • 傾斜角度(tilt angle): -5°~45°
  • 旋轉(rotation): 360°(Digital Camera system)

收費標準

服務項目 院內單位 院外單位
醫奈所 國衛院 學術單位 產業及其他機構
SEM (3hr) 3,500 4,500 6,000 6,000
EDS元素分析 (單點) 250 300 500 500
鍍Pt膜 300 500 800 800
臨界點乾燥器
(自行操作)
500 700 1,000 1,000
備註:

1. 上機樣品請提前2-3天交付管理員進行真空乾燥,確保樣品完全乾燥方可上機。
2. 使用者若已預約上機時間,欲取消請提前1天告知,上機當日臨時取消,仍須收取一個時段費。

儀器操作人

黃馨瑩;分機38102 & 38109