其他設備

  1. 電路板樣品雕刻機:電路板雕刻單面、電路板雕刻雙面(不含電鍍)、只有玻璃纖維板
  2. 高真空磁控共濺鍍系統:金屬濺鍍費(單層)、金屬濺鍍費(雙層)
  3. 無塵室 Class 1000:本設備環境為1000等級無塵室(Class 1000 Clean Room),並配有光微影技術(photolithography) 微製造所需之相關設備可供使用
  4. 圓腔式氧電漿機(HARRICK PDC-001 Oxygen Plasma):清洗基板,表面改質
  5. 平板式氧電漿機(MARCH AP300 Oxygen Plasma):玻璃與PDMS氧電漿表面改質