服務項目：矽晶片結構, 光阻結構
廠牌：Sanpany
型號：ET-200
分析原理：
此機台是利用尖頭探針去掃描物體表面，以得到表面輪廓的資訊。在探針掃描的運動軌跡橫過物體表面，並利用一導體感測器記錄了針尖的垂直運動變化。經由針尖運動產生訊號，可以顯示待測物體的二維表面輪廓。
特色：
表面輪廓機是用來量測物體的表面輪廓，藉由表面輪廓可知所製作的樣品之粗糙度，判斷製造成品之精度良莠。
收費標準
| 服務項目 | 院內單位 | 院外單位 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 醫工奈米所 | 院內計畫 | 外接專案計畫 | 學術單位 | 產業及其他機構 | |
| 教育訓練 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
| 自行操作 | 300/小時 | 400/小時 | 400/小時 | 400/小時 | 800/小時 |
| 委託操作 | 1,800/小時 | 2,000/小時 | 2,000/小時 | 2,000/小時 | 3,000/小時 |
| 陪同操作 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
| 服務項目 | 院內單位 | ||
|---|---|---|---|
| 醫工奈米所 | 院內計畫 | 外接專案計畫 | |
| 教育訓練 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 |
| 自行操作 | 300/小時 | 400/小時 | 400/小時 |
| 委託操作 | 1,800/小時 | 2,000/小時 | 2,000/小時 |
| 陪同操作 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 |
| 服務項目 | 院外單位 | |
|---|---|---|
| 學術單位 | 產業及其他機構 | |
| 教育訓練 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
| 自行操作 | 400/小時 | 800/小時 |
| 委託操作 | 2,000/小時 | 3,000/小時 |
| 陪同操作 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
註1：每個操作時段最低收費時數1小時(未達1小時，以1小時計算)。
註2：教育訓練每次需1小時，教育訓練後須經過至少1次陪同上機進行認證，通過後可取得自行操作使用權限。
註3：使用者須遵守無塵室(儀器位於無塵室內)使用管理規定。
註4：委託操作以每小時量測20個數據為上限(未達20個數據，以1小時計算)。
註5：陪同操作若實驗延宕超過預約時間需補足超過之時數(未達1小時，以1小時計算)。
技術服務操作人
葉鵑鳳，分機37143