掃描式電子顯微鏡

分析原理：

利用電子槍所發出的電子束透過柵極(Wehnelt cylinder)聚集而形成幾10μm大小的點光源，在陽極加速電壓作用下，再經過包含三個電磁透鏡所組成的電子光學系統，使電子束聚焦成一細小約幾個nm的電子束照射試片表面，由於末端透鏡上裝有掃描線圈，其主要是用來偏折電子束，使其在試片上能做二度空間的掃描，並且此掃描器與陰極射線(CRT)上掃描同步，當此電子束打至試片時會激發出二次電子(secondary electron)和反射電子。這些電子被偵測器偵測時，訊號經由放大器送至CRT，由於掃描線圈上的電流與顯像管的電流是同步的，所以，試片表面上任一點產生的訊號和顯像管相互對應，因此，試片表面的形貌、特徵等可藉由同步成像的方式而一一表現出來。

特色：

表面輪廓機是用來量測物體的表面輪廓，藉由表面輪廓可知所製作的樣品之粗糙度，判斷製造成品之精度良莠。