服務項目:清洗基板,表面改質
廠牌:Harrick Plasma
型號:PDC-001
分析原理:電漿作用包含了紫外線,中性粒子,活化粒子, 電子及離子的反應。這些具能量的粒子能引發許多特殊的化學與物理的反應,進行清潔及改變材料表面以達到特殊的功能及效果。例如在電漿蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層 (Plasma Sheath) 加速後轟擊矽晶圓,使其表面原子的鍵結破壞進而能迅速 與活化粒子進行化學反應達到蝕刻效果。電漿已廣泛應用於各種領域,包含半導體積體電路製造,半導體封裝,手術刀具的殺菌等。 |
收費標準
服務項目 | 院內單位 | 院外單位 | |||
---|---|---|---|---|---|
醫工奈米所 | 院內計畫 | 外接專案計畫 | 學術單位 | 產業及其他機構 | |
陪同操作 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
自行操作 | 200/小時 | 250/小時 | 250/小時 | 400/小時 | 650/小時 |
教育訓練 | 1,500/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 1,800/小時 | 3,000/小時 |
註:
1.每個操作時段最低收費時數1小時(未達1小時,以1小時計算)。
2.教育訓練每次需1小時,教育訓練後須經過至少1次陪同上機進行認證,通過後可取得自行操作使用權限。
3.陪同操作若實驗延宕超過預約時間需補足超過之時數(未達1小時,以1小時計算)。
1.每個操作時段最低收費時數1小時(未達1小時,以1小時計算)。
2.教育訓練每次需1小時,教育訓練後須經過至少1次陪同上機進行認證,通過後可取得自行操作使用權限。
3.陪同操作若實驗延宕超過預約時間需補足超過之時數(未達1小時,以1小時計算)。
儀器操作人
何誠堃,分機37143